HORIBA堀場(chǎng)全新MV-2000混合注入系統(tǒng)液體汽化器
HORIBA堀場(chǎng)全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

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HORIBA堀場(chǎng)全新混合注入系統(tǒng)液體汽化器

MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器

MV-2000 系列采用新的螺旋流加熱方法，即使在低溫下也能實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定汽化。適用于包含 “High-k"工藝液體在內(nèi)的一系列液體源的汽化。

模型	MV-2000
液體材料	除腐蝕不銹鋼的液體（例如 HCl、HF）之外的所有液體
設(shè)定溫度	按汽化條件（控制閥：最高140 ?C 汽化器：最高200 ?C）
泄漏完整性	≤1×10-8Pa·m3/s（He）
內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)	≤1×10-6 Pa·m3/s（He）
接觸液體的部件	不銹鋼316L
溫度傳感器	K 型熱電偶 (CA)
耐壓性	1兆帕（氣壓）
標(biāo)準(zhǔn)配件	液體入口：1/8 VCR 型外螺紋載氣入口：1/4 VCR 型內(nèi)螺紋氣體出口：1/2 VCR 型外螺紋
工作溫度	15 - 50 攝氏度
選項(xiàng)	氣閥（內(nèi)漏標(biāo)準(zhǔn)：≤1×10-9 Pa·m3/s(He)）

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