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HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選
簡要描述:

HOBIBA堀場CS-1000化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選
HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選

  • 產(chǎn)品型號:CS-1000
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-02-12
  • 訪  問  量:56

詳細介紹

HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選

HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選

化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)

CS-1000 型

能夠?qū)?BEOL 工藝中使用的含有微量元素的多組分化學溶液進行濃度管理*1.

ppm 級的低濃度組分*2在化學溶液中,無需任何預處理即可檢測到。只需在制造現(xiàn)場安裝整合在一個獨立機柜中的一體化系統(tǒng)即可開始使用*3.

*1 “back end of line"的縮寫,指的是半導體前端工藝中的布線形成過程。
*2 ppm = 百萬分之一。對于液體成分,1 ppm 表示 1 升液體中存在 1 毫克的成分。
*3 SEMI S2 認證。

檢測 PPM 級的低濃度組分

通過提高光譜儀的性能(擴大的波長范圍和更高的分辨率)并結(jié)合來自 pH 計和電導率計的信號,現(xiàn)在可以檢測 ppm 級的低濃度成分。

同時測量兩種不同的化學溶液

該裝置配備了兩條獨立的樣品流線。通過隔離流路,它可以同時測量兩種不同的化學溶液。

每六個月 4 小時的維護

配備具有自動校準功能的 pH 計。維護僅包括更換燈以及 pH 計的內(nèi)部溶液和校準溶液瓶。

產(chǎn)品名稱化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)
CS-1000 型
測量項目化學濃度、電導率、pH 值
測量原理吸收光譜法、2 電極法、玻璃電極
目標化學品半導體制造工藝中使用的多組分化學溶液(詳情請聯(lián)系我們)
尺寸700 (W) × 610 (D) × 1640 (H) mm(不包括突出部分)
重量約 200 公斤
接液材料柜式(PFA、PTFE)
吸光度監(jiān)測儀(PFA、PTFE、石英、Kalrez™)
電導率計(PFA、碳、Kalrez™)
pH 計 - 排水管使用(PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烴樹脂、THV、PFA、Kalrez™、PharMed BPT)
※Karlez™ 是 DuPont de Nemours, Inc. 的商標。
符合標準CE , KC , FCC 規(guī)則 Part15 , UKCA , SEMI S2


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