HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選

HOBIBA堀場化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)玉崎科學精選

化學溶液監(jiān)測系統(tǒng)

CS-1000 型

能夠?qū)?BEOL 工藝中使用的含有微量元素的多組分化學溶液進行濃度管理*1.

ppm 級的低濃度組分*2在化學溶液中，無需任何預處理即可檢測到。只需在制造現(xiàn)場安裝整合在一個獨立機柜中的一體化系統(tǒng)即可開始使用*3.

*1 “back end of line"的縮寫，指的是半導體前端工藝中的布線形成過程。
*2 ppm = 百萬分之一。對于液體成分，1 ppm 表示 1 升液體中存在 1 毫克的成分。
*3 SEMI S2 認證。

檢測 PPM 級的低濃度組分

通過提高光譜儀的性能（擴大的波長范圍和更高的分辨率）并結(jié)合來自 pH 計和電導率計的信號，現(xiàn)在可以檢測 ppm 級的低濃度成分。

同時測量兩種不同的化學溶液

該裝置配備了兩條獨立的樣品流線。通過隔離流路，它可以同時測量兩種不同的化學溶液。

每六個月 4 小時的維護

配備具有自動校準功能的 pH 計。維護僅包括更換燈以及 pH 計的內(nèi)部溶液和校準溶液瓶。