?新的角度調(diào)整方法縮短了對準(zhǔn)時(shí)間

通過利用射線反射調(diào)整角度，我們實(shí)現(xiàn)了快速、準(zhǔn)確的樣品傾斜校正。

?晶圓面內(nèi)分布評價(jià)

對面內(nèi)膜厚分布進(jìn)行射線分析時(shí)，晶圓高度的調(diào)整非常重要。配備高速Z軸對準(zhǔn)功能，支持多種薄膜類型，可實(shí)現(xiàn)整個(gè)晶圓的高精度映射測量。

·應(yīng)用

FEOL：CoSix、NiSix、SiGe、High-κ 薄膜、Al...　
BEOL：勢壘金屬、Ta/TaN、Ti/TiN、Cu 籽晶、Cu 電鍍、W...
各種工藝中使用的各種薄膜類型，對應(yīng)于薄膜厚度。

?全自動設(shè)備日常管理功能AutoCal

為了在XRR和XRF測量中獲得準(zhǔn)確穩(wěn)定的分析值，需要定期檢查和管理光學(xué)系統(tǒng)、X射線源和探測器。該設(shè)備配備了“AutoCal"功能，可以全自動執(zhí)行這些日常管理任務(wù)。減輕了操作人員的工作量。

?人性化的操作畫面

它具有基于其他型號中也使用的經(jīng)過驗(yàn)證的軟件的多種功能，并配備了不需要復(fù)雜分析的新型 XRR 薄膜厚度和密度分析軟件，使得可以通過簡單的操作執(zhí)行從測量到分析的所有操作.

?支持C to C自動運(yùn)輸

支持200mm至100mm晶圓的自動開盒傳送。 （可選）
- 兼容在線通信功能，
可與上位機(jī)進(jìn)行SECS通信。兼容各種CIM/FA。 （選項(xiàng)）